Silvan şehir merkezinde aynı adı taşıyan cadde üzerindedir. Mervani Şehir mezarlığına bitişik olup Ulu Caminin 500 metre kuzeyindedir. Caminin önünde, yakın zamanlarda yeniden düzenlendiği anlaşılan üç kenarı revaklı geniş bir avlusu vardır. Dış duvarlarının tamamı bej renkli kesme taşlarla kaplanmıştır. Son cemaat yerini ayakta tutan ahşap çatıyı altı adet taş sütun ayakta tutmaktadır. Taç kapının kırık kemerli bir tonoz parçası ile örtülü bir nişi vardır. Ana nişin köşelerinde üzerleri geometrik örneklerle süslü iki gömme sütuncuk görülmektedir. Yapının herhangi bir yerinde inşa kitabesi yoktur. Avlu revaklarının kuzey kanadındaki kufi kitabe başka bir yapıdan taşınmıştır. Caminin XVI.yy.da Diyarbakır valisi İskender paşa mahiyetinde bulunan Silvanlı Şeyh Ahmet zade Elvend Bey’in oğlu Karabehlül Bey tarafından yaptırılmıştır.